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方塊電阻測(cè)定儀用于測(cè)量半導(dǎo)體材料（硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。
儀器是配精度為0.05%的恒流源、恒流源開關(guān)以及雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，數(shù)字表監(jiān)測(cè)電流變化，儀器可選配測(cè)量軟件用于測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的MAX百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度。
規(guī)格參數(shù)
測(cè)量范圍：
測(cè)電阻率：0.00001～199000Ω·cm
測(cè)方塊電阻：0.001～1000000Ω/□
恒流源：
直流輸出電流：0.001～100mA五檔可調(diào)
量程范圍：0.001～0.01mA、0.01～0.10mA、0.10～1.0mA、1.0～10mA、10～100mA
恒流精度：±0.05%
直流數(shù)字電壓表：
測(cè)量范圍：0～199.99mV
靈敏度：1μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%）
輸入阻抗：≥1000MΩ
測(cè)量精度：1～1000Ω·cm≤3%
供電電源：AC 220V±10%，50z/60Hz
功率范圍：12W
環(huán)境溫度：23±2℃
相對(duì)濕度：≤65%
型號(hào)：GDSKDY-1H
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