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SEMI MF397-1106用兩探針測(cè)量電阻率的測(cè)量方法
兩探針電阻率測(cè)試儀是按照SEMI MF397-1106（用兩探針測(cè)量電阻率的測(cè)量方法）“兩探針?lè)ā钡囊?。適用于測(cè)量橫截面尺寸是可測(cè)量的，棒的長(zhǎng)度與橫截面MAX尺寸之比不小于3：1。橫斷面為圓形、正方形、長(zhǎng)方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針?lè)ǖ臏y(cè)量電流是從長(zhǎng)棒兩端進(jìn)出，遠(yuǎn)離電壓測(cè)量探針，因此電流流過(guò)金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)（如珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等）。
儀器是由電氣測(cè)量、測(cè)試臺(tái)及兩探針頭組成。儀器具有精度為0.05%的恒流源以及雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表監(jiān)測(cè)電流變化，儀器還配有恒流開(kāi)關(guān)，儀器測(cè)量軟件配合探頭在硅棒上移動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)計(jì)算多點(diǎn)的電阻率、正反向電阻率平均值、電阻率的MAX值、電阻率MIN值，MAX百分變化，測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中，可查詢(xún)測(cè)量數(shù)據(jù)或按條件查詢(xún)；提供打印及導(dǎo)出格式供選擇。
規(guī)格參數(shù)：
測(cè)量范圍
硅晶體電阻率：0.005-10000Ω·cm
硅棒尺寸：長(zhǎng)300mm、直徑20mm（可按要求更改）
恒流源
輸出電流：DC0.001-100mA，五檔可調(diào)
量程范圍：0.001-0.01mA（1-10μA）、0.01-0.1mA（10-100μA）、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA
恒流精度：±0.05%
直流數(shù)字電壓表
測(cè)量范圍：0-199.99mV
靈敏度：10μV
：±（0.004%讀數(shù)±0.01%）
輸入阻抗：≥1000MΩ
：≤0.3%
兩探針頭
探針間距：1.59±0.01mm
探針直徑：Φ0.8mm
游移率：＜0.2%
探針材料：硬質(zhì)合金
探針壓力：3±1N/單針
供電電源：AC 220V±10%，50/60Hz
功率范圍：12W
環(huán)境溫度：23±2℃
相對(duì)溫度：≤65%
型號(hào)：GDSKDY-2
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