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高溫高壓光浮區(qū)單晶爐的工作原理是什么?

來源:上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司   2025年06月18日 08:55  
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐可能是指能夠在高溫高壓環(huán)境下工作的光學(xué)浮區(qū)法單晶爐,不過關(guān)于其“高壓”特性的具體工作原理在現(xiàn)有資料中并未明確闡述,但我可以介紹高溫高壓光浮區(qū)單晶爐(即光學(xué)浮區(qū)法單晶爐)的工作原理,具體如下:
  一、基本原理
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐采用光學(xué)浮區(qū)法,這是一種垂直區(qū)熔法,通過光熱輻射聚焦形成高溫熔區(qū)實(shí)現(xiàn)單晶生長(zhǎng)。其核心在于精確控制一系列參數(shù),以保障單晶生長(zhǎng)過程的穩(wěn)定性與均勻性。
  二、詳細(xì)步驟
  1.形成熔區(qū):將多晶材料棒置于高溫區(qū),通過光源(如氙燈、激光等)聚焦形成狹窄的熔區(qū)。熔區(qū)由表面張力所支持,依靠表面張力與重力的平衡來維持。
  2.熔區(qū)移動(dòng):通過移動(dòng)材料棒,使熔區(qū)沿軸向移動(dòng)。熔區(qū)冷卻后定向結(jié)晶,最終形成單晶棒。
  三、關(guān)鍵參數(shù)控制
  1.溫度控制:通過調(diào)節(jié)光源的功率和聚焦程度,精確控制熔區(qū)的溫度,最高可達(dá)2200℃至3000℃以上。
  2.氣體環(huán)境:配置多種氣氛環(huán)境(如氬氣、氧氣等),流量在0.25~1L/min范圍內(nèi)可調(diào)節(jié),以滿足不同材料的生長(zhǎng)需求。
  3.拉伸速率與旋轉(zhuǎn)速率:精確控制拉伸速率(0.1~200mm/h)和旋轉(zhuǎn)速率(0~150rpm),以確保晶體生長(zhǎng)界面的穩(wěn)定,減少缺陷的生成。
  四、設(shè)備構(gòu)成
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐通常包含以下部分:
  1.光源系統(tǒng):如氙燈、激光器等,提供高溫輻射。
  2.聚焦系統(tǒng):如雙鏡聚焦系統(tǒng),將光源聚焦到熔區(qū)。
  3.氣體控制系統(tǒng):提供并控制氣氛環(huán)境。
  4.機(jī)械系統(tǒng):包括拉伸機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),用于控制材料棒的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)。
  5.監(jiān)控系統(tǒng):用于實(shí)時(shí)監(jiān)控熔區(qū)的狀態(tài)和生長(zhǎng)過程。
  五、應(yīng)用領(lǐng)域
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐廣泛應(yīng)用于超導(dǎo)材料、介電材料、磁性材料及金屬間化合物等單晶樣品的制備。
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐通過精確控制一系列關(guān)鍵參數(shù)和設(shè)備構(gòu)成部分,實(shí)現(xiàn)了在高溫環(huán)境下從多晶材料向單晶的轉(zhuǎn)化。
 

 

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