溫度控制?；ㄙM(fèi)因素變量：-0.0321至 0.15

　　溫度和濕度的變化能夠引起生產(chǎn)設(shè)備的誤差，從而影響生產(chǎn)過(guò)程的可重復(fù)性，終導(dǎo)致產(chǎn)品合格率降低、增加浪費(fèi)。因此，潔凈室對(duì)溫度嚴(yán)格控制要求是顯而易見(jiàn)的，這項(xiàng)花費(fèi)是必須的。

　　通常情況下，要求工程師在設(shè)計(jì)時(shí)降低施工費(fèi)用，同時(shí)要求在很大區(qū)域內(nèi)對(duì)溫度進(jìn)行的控制，允許的溫度變化范圍在±4到6華氏度之間(例如使用卷簾門(mén)的倉(cāng)庫(kù))。在沒(méi)有硬墻和氣閘裝置時(shí)，這將是十分苛刻的要求，并且實(shí)際上無(wú)法控制濕度的變化。人們通常認(rèn)為潔凈室外的潔凈度、溫度、濕度和氣壓等項(xiàng)目的層疊性是非常容易達(dá)到的，并且很容易維持，但需要仔細(xì)的評(píng)估這些項(xiàng)目的誤差范圍。

　　如果對(duì)潔凈室內(nèi)的暖通、動(dòng)力專業(yè)裝置和控制系統(tǒng)有嚴(yán)格要求，例如潔凈室的溫度控制要求為正負(fù)0.1華氏度所用花費(fèi)，可能比基準(zhǔn)點(diǎn)為70華氏度，±2.0度(即標(biāo)準(zhǔn)要求68到72華氏度)的高出20%到50%。

　　在每個(gè)潔凈室區(qū)域內(nèi)，有局部自動(dòng)調(diào)溫器來(lái)控制設(shè)計(jì)溫度。它能驅(qū)動(dòng)安裝在風(fēng)管上的局部再熱或再冷盤(pán)管工作，來(lái)滿足房間內(nèi)的濕熱的要求。如果使用風(fēng)機(jī)盤(pán)管裝置，局部自動(dòng)調(diào)溫器控制本區(qū)域內(nèi)盤(pán)管出口空氣的溫度。

　　7. 溫度控制?；ㄙM(fèi)因素變量：-0.034至0.19

　　每個(gè)潔凈室內(nèi)的相對(duì)濕度，通過(guò)局部濕度調(diào)節(jié)器來(lái)進(jìn)行控制。如果窨?jī)?nèi)的相對(duì)濕度較高，恒濕器通過(guò)降低冷凍盤(pán)管流出空氣的溫度來(lái)加強(qiáng)除濕。同時(shí)，再熱盤(pán)管提供熱量來(lái)保持窨的溫度。任何一個(gè)潔凈間的相對(duì)濕度超出了設(shè)計(jì)范圍，局部恒濕器將啟動(dòng)安裝在風(fēng)管上的局部濕度調(diào)節(jié)器。當(dāng)必須滿足的濕度控制時(shí)，通常利用空調(diào)箱中的新風(fēng)的絕熱增濕效果來(lái)實(shí)現(xiàn)，并通過(guò)潔凈室的結(jié)^***來(lái)維持。

　　濕度水平的局部變動(dòng)可以通過(guò)超聲波濕度調(diào)節(jié)器進(jìn)行控制，該調(diào)節(jié)器位于終過(guò)濾前的風(fēng)管靜壓箱內(nèi)。用水水質(zhì)為RO/DI，水電陰率在3到5mgm之間。如果相對(duì)濕度低于設(shè)計(jì)范圍，恒濕器將啟動(dòng)濕度調(diào)節(jié)器來(lái)增加新風(fēng)的水分含量。如果相對(duì)濕度較高，恒濕器將降低新風(fēng)控制冷凍盤(pán)管流出空氣的^***溫度，從而加強(qiáng)除濕效果。

　　8. 排風(fēng)系統(tǒng)?；ㄙM(fèi)因素變量：-0.031至0.16

　　典型的工藝排風(fēng)系統(tǒng)包括：酸、溶劑和VOC、毒性物質(zhì)、熱和一般的房間排風(fēng)。如果廢氣中有氨氣出現(xiàn)，一些廠家會(huì)選擇使用分開(kāi)的風(fēng)管系統(tǒng)和處理系統(tǒng)。使用多、普遍的酸消除方法，是水平或垂直氣體洗滌塔。溶劑和VOC的去除通常運(yùn)用就地或當(dāng)場(chǎng)高溫破壞的方法。需要認(rèn)真選擇支隊(duì)的方式及必須支隊(duì)的廢氣流量。

　　的空氣處理設(shè)備能夠?qū)U氣量降至低，因此，在實(shí)施過(guò)程中可降低工程費(fèi)用和能源浪費(fèi)。保持排風(fēng)量增加的潛在需求、擴(kuò)大生產(chǎn)和安裝這些備用品所需的經(jīng)濟(jì)價(jià)值之間的平衡是十分重要的。通常情況下，考慮到潔凈室將來(lái)的擴(kuò)展，當(dāng)其它動(dòng)力設(shè)備和暖通、動(dòng)力專業(yè)系統(tǒng)(例如新風(fēng)和冷卻)不能滿足這種擴(kuò)充的需求時(shí)，超大的昂貴的、不銹鋼襯里的或FRP排風(fēng)系統(tǒng)就已經(jīng)建立了。沒(méi)有考慮將來(lái)的需求而建立的酸排隊(duì)系統(tǒng)也是十分普遍的。增加風(fēng)量和新的風(fēng)管支管，，就會(huì)使風(fēng)管系統(tǒng)中的風(fēng)速超過(guò)每分鐘4000英尺。這樣的系統(tǒng)保持平衡是十分困難的或不可能的，并且運(yùn)行的費(fèi)用昂貴。

　　9. 振動(dòng)和噪聲控制?；ㄙM(fèi)因素變量：-0.027至0.10

　　設(shè)備的大小和重量影響振動(dòng)的傳播及控制。潔凈室地板下面的“華夫(waffle)”混凝土板層，能夠很好地避免將設(shè)備的振動(dòng)傳送到其他生產(chǎn)區(qū)域或度量衡工具上。即使為了安裝管道而在潔凈室的地面上鉆洞，Waffle混凝土板層仍能保持其風(fēng)性。因?yàn)榈匕宓膹?qiáng)度在于它的柵格系統(tǒng)，并可進(jìn)行重新整理。因此可在地板上沖壓額外的孔洞，而不會(huì)對(duì)振動(dòng)因素有任何副作用。

　　所有的暖通、動(dòng)力專業(yè)設(shè)備應(yīng)使用彈簧、軟件接和隔離安裝等隔絕振動(dòng)的方式，將振動(dòng)效應(yīng)降到低。低噪音的節(jié)能風(fēng)機(jī)和馬達(dá)，可以用來(lái)維持潔凈室NC水平。振動(dòng)和噪聲方面的專家應(yīng)是評(píng)估小組的成員，他們來(lái)用于振動(dòng)和噪聲方面的專家應(yīng)是評(píng)估小組的成員，他們來(lái)核實(shí)用于振動(dòng)和噪聲控制中的機(jī)械和建筑學(xué)原理。完工后的再處理可能是十分昂貴的。如果建筑師、暖通、動(dòng)力專業(yè)工程師、業(yè)主和顧問(wèn)從設(shè)計(jì)的開(kāi)始就考慮這些因素，可以免去許多潛在的昂貴的檢測(cè)，或用更經(jīng)濟(jì)的辦法取代。

　　10. 磁通量和電磁通量?；ㄙM(fèi)因素變量：0.037至0.15

　　磁通量被認(rèn)為是銀河系中海洋微粒背景的流量。銀河系的放置也被認(rèn)為是自然界的電磁循環(huán)。“通量”這個(gè)詞代表流量，我們可以認(rèn)為磁力線就象某種液體流動(dòng)的路線那樣穿過(guò)一個(gè)假想的表面。磁場(chǎng)的大小代表流動(dòng)的速度，它的方向就是流動(dòng)的方向。磁通量就是流過(guò)這個(gè)表面的所有的容量。為了更好地理解，我們可以認(rèn)為磁通量就是穿過(guò)這個(gè)表面的磁力線的數(shù)量。