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?金剛石厚度測(cè)試的方法主要包括以下幾種?:
?X射線檢測(cè)?:將樣品放置在X射線檢測(cè)機(jī)的樣品室載物臺(tái)上,曲面朝上,用美工膠紙固定。調(diào)整工作電壓至90KV,工作電流100μA,選擇合適的放大倍數(shù)拍照、測(cè)量并保存數(shù)據(jù)。X射線檢測(cè)可以清晰地顯示金剛石復(fù)合片的邊界和各層厚度?1。
?超聲檢測(cè)?:使用水浸超聲掃描顯微鏡設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。將金剛石復(fù)合片放入設(shè)備探頭正下方,校準(zhǔn)探頭及工件參數(shù),進(jìn)行超聲檢測(cè)。超聲C掃描呈像可以清晰地顯示金剛石復(fù)合片的厚度和內(nèi)部缺陷情況,如裂痕和空洞等?2。
?三維工業(yè)CT/X-RAY?:通過(guò)三維工業(yè)CT或X射線掃描設(shè)備,可以提供高精度的內(nèi)部缺陷檢測(cè)。這種方法適用于芯片和電子器件的內(nèi)部缺陷檢測(cè),能夠精準(zhǔn)定位內(nèi)部問(wèn)題?
九域半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
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