單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 安徽科冪儀器有限公司
- 品牌 科冪儀器
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)望客路科冪園區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/18 10:11:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 203
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 加熱方式 | 電阻絲 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
升溫速度(達(dá)到最高溫) | 10℃/min | 儀器種類(lèi) | 管式爐 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥 | 最大功率 | 3kW |
最高溫度 | 1150℃ |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源,等離子體更穩(wěn)定;
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長(zhǎng)溫度更低。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào):TFE - 1200 - 50 - 220
設(shè)計(jì)溫度:1150℃(短期)
額定溫度:1100℃
推薦升溫速率:≤10℃/min
控制精度:±1℃
爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸:Φ80*220mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度:220mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度:80mm
加熱元件:優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲
額定功率:3KW
供氣系統(tǒng):
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm(可定制)
射頻電源:
①射頻功率:5-500W;
②射頻頻率:13.56MHz;
③匹配方式:自動(dòng)匹配
真空系統(tǒng):雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)
外形尺寸:1250*510*810mm
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