主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng) ECS是專業(yè)為電鏡等電子束儀器屏蔽磁場干擾而設(shè)計的主動磁場屏蔽和主動消磁裝置系統(tǒng).用于為科學儀器裝置免受磁場干擾影響的環(huán)境.主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng)在原有的磁場屏蔽室內(nèi)增設(shè)主動磁場消磁儀器,為精密科學儀器提供磁場屏蔽環(huán)境。
主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng) ECS特點
模塊化設(shè)計,降低維護成本，比如電源模塊可單獨取出*換而不需要維護整套系統(tǒng)
高電流輸出,*化補償線圈,帶來*為可靠的使用
尺寸較小的傳感器,25mm直徑，60mm長度,方便安裝到合適位置,帶來*高的衰減因數(shù)
純模擬設(shè)計，不會沖突，不會存在磁陷阱
被動制冷技術(shù)，無風扇，無噪音，*長使用壽命
全球安裝超過500套
同時適合SEM和TEM顯微鏡
磁場補償系統(tǒng)同時消除3軸磁性
可補償直流電磁場和交流電磁場，補償范圍DC-1000Hz
***大消磁能力高達3uT
全部工作頻率衰減可達40dB
噪音水平低于0.7nT
6線圈設(shè)計提供**的消磁和磁場補償效果
主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng) ECS應(yīng)用
掃描電子顯微鏡SEM
透射電子顯微鏡TEM
聚焦粒子束FIB
質(zhì)譜儀器MASS
電子束光刻系統(tǒng)EBL
掩膜檢測裝置設(shè)備
晶圓檢測系統(tǒng)
其它電子束EB儀器
干擾磁場無處不在,需要屏蔽消磁： 直流磁場：靜磁場是指強度、方向基本不變的穩(wěn)恒磁場。
交流磁場：指強度、方向發(fā)生周期性變化的磁場。
隨機磁場：由地鐵、汽車等通過時而產(chǎn)生的磁場???
電氣設(shè)備?機器的運作/停止等引發(fā)的磁場???
磁場的紊亂會對精密儀器的性能帶來不良影響
受直流磁場的影響，圖像偏移不清；圖像紊亂，圖像消失不見；
受交流磁場影響：圖像?有類似線條等出現(xiàn)
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