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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)（可以在高壓或真空條件下工作），其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動控制。典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。
韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)主要用于測量以下介質(zhì),高爐煤氣流量計(jì),焦?fàn)t煤氣質(zhì)量流量計(jì),煤氣,空氣,氮?dú)?乙炔,光氣,氫氣,天然氣,氮?dú)?液化石油氣,過氧化氫,煙道氣,甲烷,丁烷,氯氣,燃?xì)?沼氣,二氧化碳,氧氣,壓縮空氣,氬氣,甲苯,苯,二甲苯,硫化氫,二氧化硫,氨氣。
韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)規(guī)格：
量程：從10SCCM-150SLPM
響應(yīng)時間：2秒
精度：±1%FS
重復(fù)性：±0.25%FS
輸出：0-5VDC或4-20mA
耐壓：小于90bar
韓國Line tech M20系列氣體質(zhì)量流量計(jì)氣路接頭可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：
a.. 1/8＂ Compress
b. 1/4＂ Compress
c. 3/8＂ Compress
d. 1/4＂ VCR
e. 1/4＂ VCO
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