產(chǎn)品簡介
通徑 1.0 1.8 mm
Z大流量 30, 100, 200 500 1000 sccm
量程比 >100:1
精度 ±(1.5+0.5fs) %
重復(fù)性 ±0.25 %
零點輸出漂移 ±30 mv
輸出漂移 ±0.2 %/c
響應(yīng)時間 4 8 16 33 65 131 msec
Z大流量 30, 100, 200 500 1000 sccm
量程比 >100:1
精度 ±(1.5+0.5fs) %
重復(fù)性 ±0.25 %
零點輸出漂移 ±30 mv
輸出漂移 ±0.2 %/c
響應(yīng)時間 4 8 16 33 65 131 msec