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產(chǎn)品概述詳細

 詳細資料：

本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規(guī)定設計，它主要由電器測量部份（主機）及四探針探頭組成。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度

主要技術指標:。

對0.1～199.9Ω*cm標準樣片的測量誤差不超過±5%。

（1）測量范圍：可測量電阻率：0.1～199.9Ω*cm。

zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：

0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%

適合測量各種厚度的硅片，可測晶片直徑（zui大）

園形Ф100mm方形230×220mm

（2）恒流源：

輸出電流：0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%。恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%

（3）直流數(shù)字電壓表

測量范圍：0.1～199.9mv靈敏度：100μv準確度：0.2%（±2個字）

當沒有測量時，表上數(shù)字不歸零屬于正常，是其自身處于自動掃描狀態(tài)

（4）供電電源：AC：220V±10%（保護隔離）50/60HZ功率2W

（5）四探針探頭；a.鎢鋼探針或高速鋼探針b.間距1±0.01mm

c.針尖絕緣電阻≥100mΩd.機械游移率≦1.0%e.探針壓力12-16牛頓（總力）

（6）使用環(huán)境：

溫度23±2℃，相對濕度≤80%無較強的電場干擾無強光直接照射

（7）使用方法；

a.使用儀器前將電源線、測試筆聯(lián)接線與主機聯(lián)接好，電源線插頭插入～220V座插后，開啟背板上的電源開關，此時前面板上的數(shù)字表、發(fā)光二極管都會亮起來。探針頭壓在被測單晶上，右邊的表顯示從1、4探針流入單晶的測量電流，左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差。電流大小通過旋轉前面板右上方的電位器旋鈕加以調(diào)節(jié)b.校準設備：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的標準電流修正系數(shù)表）取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀。

c.測試:用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可.

d．校驗：在測試過程中要求每隔2小時用標準樣塊校準一次設備

一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外,針的維護主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作

維護后的安裝及維護過程中,須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。