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yutaka半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備介紹

2023-4-10  閱讀(854)

yutaka半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備介紹

用于高純度氣體的e-flow壓力調(diào)節(jié)器設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工廠,具有更高的純度和最小的外部泄漏,顆粒和死區(qū)。
它用于半導(dǎo)體工廠設(shè)施(設(shè)備)的鋼瓶柜、連接件、閥箱和設(shè)備制造商的集成單元的各種氣體。
由于它是一種密封產(chǎn)品,因此非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性和氣體。

用于高純度氣體的壓力調(diào)節(jié)器陣容

L系列:接頭對(duì)焊規(guī)范、外密封金屬結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。
R系列; 本產(chǎn)品具有旋入式(NPT)規(guī)格和外部軟密封結(jié)構(gòu)。 焊接規(guī)范是插入焊接。
D系列:帶先導(dǎo)結(jié)構(gòu)的電子控制壓力調(diào)節(jié)器,將L和R系列與壓力控制單元相結(jié)合。
U系列; 主體采用特殊規(guī)格、對(duì)焊規(guī)格加工,外封為金屬密封結(jié)構(gòu)。

關(guān)于潮汐式和自由式調(diào)節(jié)閥

我們的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格是自由提升閥芯法,但海外制造商使用潮汐隔膜式結(jié)構(gòu)的情況很多。 根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同,各有利弊,但對(duì)于高純度支架,由于在氣密性檢查期間無死區(qū)和無手柄操作的想法,自由型是標(biāo)準(zhǔn)配置。

半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備一覽表

完善

功能

調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)

兼容氣體

標(biāo)準(zhǔn)流量






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