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陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡
昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質學和礦物學材料測量的法國NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法，它可以在局部尺度上識別缺陷和雜質，這些缺陷和雜質與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關。陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡
陰極射線顯微鏡組成：
- 配有相機的光學顯微鏡(低亮度)
- 裝有電動樣品支架的真空室
- 雙層真空泵及附件
- 帶電纜電子槍
- 電源控制器及控制軟件
陰極射線顯微鏡特點：
- 等離子體穩(wěn)定控制
- 自動擊發(fā)
- 半定量測量
- 分光計定量測量
- 極限空間分辨率<1um
- 可選項：加熱and/or冷卻
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