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INSTEC XYZ模塊化變溫探針臺 HCP421V-MPS 返回列表頁

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌Instec/美國

廠商性質(zhì)代理商

所在地廣州市

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更新時間：2025-05-19 16:26:59瀏覽次數(shù)：55次

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產(chǎn)品分類品牌分類

INSTEC 冷熱臺

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進口	價格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣,綜合

HCP421V-MPS Instec的真空型mini臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

詳情介紹

特點與優(yōu)勢

mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學(xué)設(shè)備
可編程控溫，涵蓋-190℃~400℃
適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針，可從設(shè)備外部移動探針進行點針,
模塊化設(shè)計，可自由組合

*可升級為8個獨立探針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針，手動點針

*可選三同軸接口
*可做定制或改動

溫控參數(shù)

溫度范圍	-190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）
加熱塊材質(zhì)	銀
傳感器/溫控方式	100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源） 30℃/min
最小溫控速度	±0.01℃/min
溫度分辨率	0.01℃ RTD傳感器
溫度穩(wěn)定性	±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
軟件功能	可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針	默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂
點針	從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置
探針接口	默認為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC *可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）
樣品臺面電位	默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)

適用光路	反射光路
窗片	可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離	8/12 mm （可選） *截面圖中WD
上蓋窗片觀察	窗片范圍φ45mm，最大視角±50° *截面圖中θ1
負溫下窗片除霜	吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品	26 mm直徑（標準）
樣品腔高	4/8 mm （可選）
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào) 3mm
調(diào)節(jié)精度	10um
氣氛控制	真空腔，也可充入保護氣體
外殼冷卻	可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量	300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

配置列表

基本配置真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器

可選配件安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

其他可選型號

TP102V-MPS	溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區(qū),40mm*40mm
HCP421V-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) Φ26mm
HCP402V-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 50mm*50mm
HP1000G-MPS	溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區(qū) 25mm*25mm,氣密腔室
定制型號	按客戶需求定制，最大適用300mm晶圓樣品