目錄:聯(lián)合光科技（北京）有限公司>>光學(xué)平臺和隔震系統(tǒng)>>主動減振器>> 模塊式主動減振器
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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模塊式主動減振器塊式設(shè)計，能適用于更多需要安裝配置的場合，外置控制箱。支撐分為彈簧型和氣浮型，彈簧型主動減振適用于顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備。氣浮型主動減振采用地面振動前饋與反饋控制相結(jié)合，提供出色的隔振效果;運動前饋與速度反饋控制結(jié)合，有效消減平臺運動加速度，快速穩(wěn)定平臺振動。適用于光刻機等運動平臺設(shè)備，消減大質(zhì)量滑塊運動帶來的振動；半導(dǎo)體設(shè)備，及高精度、高速度加速度的精密運動平臺等。
模塊式主動減振器特點：
*安裝方便，接入電源即可使用
*調(diào)節(jié)水平功能，操作簡便
*模塊化的主動減振器，可根據(jù)設(shè)備重量和尺寸，制作成各種平臺
*6自由度振動信號實時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅
*實時監(jiān)控臺面振動
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