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 一、產(chǎn)品特點

■ 光學(xué)橢偏測量解決方案；

■ 緊湊集成化設(shè)計，良好的用戶操作體驗；

■ 一鍵快速測量分析，人機交互設(shè)計，使用便捷；

■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力

■ 采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (400-800nm)；

■ 高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；

二、技術(shù)規(guī)格

三、應(yīng)用范圍

廣泛應(yīng)用于科研/企業(yè)中各種單層到多層薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等快速表征分析。