AE Navigator Series 射頻匹配網絡可實現快速、精確、可靠的數字調諧匹配，AE Navigator 10013 射頻匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射頻匹配網絡 使用*的數字技術可縮短調諧和匹配響應時間。

AE Navigator Series 射頻匹配網絡具有優(yōu)秀的射頻等離子體控制方法，高級脈沖控制，可在脈沖時調諧，通過集成的內部射頻傳感器深入監(jiān)測等離子體。內部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件，可通過用戶計算機進行監(jiān)測和控制。

技術參數

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

AE Navigator 10013 射頻匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射頻匹配網絡

優(yōu)點

1.快速調諧和縮短匹配響應時間

2.加強過程控制

3.提高設備效率和產品產量

4.提高可靠性，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點

1.數字架構，采用基于模型的快速調諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調失真（IMD）抗擾，針對多頻率應用

5.實時工藝功率和阻抗測量