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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>ENI GHW Series>> MKS（ENI）GHW-85AMKS 射頻電源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | GHW80A-13DF2L0-001 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型號 | GHW-85A | M/N | GHW80A-13DF2L0-001 |
| P/N | 27-274809-00 | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 8500W | 設備狀態(tài) | Refurblished |
MKS 射頻電源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W 是MKS具有高可靠性的射頻等離子發(fā)生器，GHW 系列射頻發(fā)電機在 13.56 MHz 的頻率下提供不同額定輸出功率的設備選擇。該系列設備非常適用于集成電路、平板顯示器和數據存儲設備制造過程中的等離子增強化學氣相沉積 (PECVD)、高密度等離子 CVD (HDPCVD)、蝕刻和其他薄膜應用。
MKS 射頻電源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W RF Generator
規(guī)格
類型：GHW 系列 13.56 MHz 射頻等離子發(fā)生器
AC輸入：3/PE~ 200-208V 50-60Hz 65A max
頻率：13.56MHz ±0.005%
輸出功率：8500 W max
負載阻抗范圍：無限
射頻穩(wěn)定性/雜散輸出：無條件穩(wěn)定運行限制內的任何負載 < -45dBc
諧波輸出和失真：< -40dBc
射頻連接器：N型
界面：標準：RS-232 Subminiature Type-D 9 針數字；可選的自定義接口卡可用。
讀出：數字讀數顯示頻率和正向、反射和負載功率。
機架安裝：提供 EIA（標準）19 英寸適配器
重量：30公斤（65磅）
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