COMDEL 低頻射頻電源 CLF5000 450KHz 5000W RF GENERATOR 射頻發(fā)生器是一款穩(wěn)定、可靠的低頻射頻電源。CLF Series 是為滿足半導(dǎo)體加工用 RF驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)的性能要求而設(shè)計(jì)的。應(yīng)用范圍包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應(yīng)和介質(zhì)加熱過程。

CLF Series 射頻電源運(yùn)作過程中可提供高達(dá)5KW的穩(wěn)定的輸出功率。半機(jī)架支撐工作時(shí)在 20KHz~50KHz 的任何固定頻率。全機(jī)架支撐工作時(shí)，可以在 20KHz~450KHz 的任何固定頻率，或自動(dòng)調(diào)諧到±15帶寬。在許多應(yīng)用中，自動(dòng)調(diào)節(jié)和多余功率凈空的結(jié)合將使電力輸送到不斷變化的無功負(fù)載，而不需要機(jī)械調(diào)節(jié)匹配網(wǎng)絡(luò)。

COMDEL 低頻射頻電源 CLF Series 特點(diǎn)

1.CLF Series 為低頻射頻電源

2.設(shè)備穩(wěn)定、可靠、低功率

3.用于工業(yè)加熱和等離子體

COMDEL 低頻射頻電源 CLF5000 450KHz 5000W 規(guī)格

AC輸入：3，PE，208 VAC，50/60Hz，25A

射頻輸出：400 KHz，700 Vpk，50 Ohm

水冷進(jìn)水需求：Min 水流 11L/min，Max 水壓414 kPa（60 psi），Max 水溫25℃