COMET 高頻射頻電源 cito1310 13.56MHz 1KW RF Generator 是一款具有優(yōu)良性能的高頻射頻電源，該設備適用于RF濺射、蝕刻、CVD和PVD等。COMET cito Series 電源設備采用的固態(tài)設計可靠性高，擁有成本低，該系列設備可提供優(yōu)秀的脈沖品質，穩(wěn)定性及功率投射準確性，使其不僅對于非半導體的應用，同時對于如等離子沉積及蝕刻等的半導體類應用來說也是可靠的選擇。

COMET cito Series 高頻射頻電源 特點

1.長時穩(wěn)定運行/低故障率 — 可提高產(chǎn)能，同時降低運行成本

2.具有高準確性，可重復性及穩(wěn)定性 — 滿足您的工藝要求

3.具有更高的功率輸出效率 — 能夠產(chǎn)生更高的經(jīng)濟及環(huán)保效益

COMET 高頻射頻電源 cito1310 13.56MHz 1KW RF Generator 規(guī)格

型號：COMET cito-1310-ACNA-N25C-FF

AC輸入：187~265V，50/60Hz，6.0A

RF輸出：1000W，13.56MHz，316V，50 Ohm

通信接口：RS232, Ethernet, DB25 Analog/Digital, 9-pin matching bus

安裝機架：標準19英寸機架裝配

散熱：風冷