MKS 射頻電源 EDGE30R40A 400KHz 2500W RF Generator 是一款性能穩(wěn)定可靠性高的射頻電源，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中，整體采用了緊湊設(shè)計，小巧緊湊，能夠有效的降低客戶的使用成本。MKS EDGE Series 射頻電源是專為薄膜加工設(shè)備設(shè)計的可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計算機和電子設(shè)備所需的集成電路或芯片的半導(dǎo)體制程的重要部件，具有優(yōu)秀的成膜能力，能夠快速成膜，對射頻輸出進行精密控制，提高產(chǎn)線效率。

MKS 射頻電源 EDGE30R40A 400KHz 2500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS                                                                                                                                                    

設(shè)備型號：EDGE30R40A                                                                                                            

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，50/60Hz，15A

RF 射頻輸出：2500W，400KHz

通信接口：AUX，CEX，RS-232C，ETHERNET，GIGABIT

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MIN水流流量1Gal/min，MAX水流壓力 80PSI

設(shè)備重量：13kg，29lbs