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| 應用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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PRECESS普瑞賽思高真空保護閘閥（V60系列）
V60高壓閘閥系列配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門開發(fā)的，可在閘門密封處提供可靠的密封而不會產(chǎn)生任何摩擦。VATLOCK機構(gòu)還可以防止閥門故障，這要歸功于關(guān)閉端位置的機械鎖定。
憑借其堅固的設(shè)計，V60系列滿足了可靠運行的高壓閘閥的所有要求。V60的設(shè)計可在大量工藝循環(huán)中可靠運行，為通用高壓閘閥樹立了標準。
該系列提供各種驅(qū)動和法蘭連接設(shè)計選項，因此可以輕松集成到任何高壓系統(tǒng)中。各種特殊選項，如窗口和端口，可確保與應用程序的優(yōu)良匹配。
V60高壓閘閥可采用氣動驅(qū)動。閥門可由控制器控制，使閥門可在0.3秒或設(shè)定值內(nèi)關(guān)閉。電磁閥的標準電壓為24V DC，但可根據(jù)要求提供其他電壓。閥門位置由一個雙位指示器指示——兩個開關(guān)分別用于“打開"和“關(guān)閉"位置——帶轉(zhuǎn)換觸點。
法蘭連接器的標準選項是ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS?？梢约煽蛻舳ㄖ频膸Ш筒粠涞姆ㄌm。
特征
l在干式泵發(fā)生故障時，保護工藝環(huán)境免受向下流動粉末的影響
l快速氣動打開和關(guān)閉小于0.3秒
l帶LCD顯示器的集成或獨立控制器
l機械鎖處于關(guān)閉位置
優(yōu)點
lDN63-630，帶FKM O型圈閘門密封
l提供ISO-F CF-F ASA-LP JIS法蘭
應用
l半導體加工
l在要求苛刻的工藝中使用真空泵或腔室隔離
l蝕刻、CVD（MO、PE、HDP、LP）注入、濺射
l高顆粒物水平的納米技術(shù)工藝
l薄膜光伏板
PRECESS普瑞賽思高真空保護閘閥（V60系列）
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | DN63 to DN320 | |
執(zhí)行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
閥體材質(zhì) | 不銹鋼 | |
饋通 | 波紋管 | |
標準法蘭 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) | |
壓差 | In close direction | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥100,000 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質(zhì) | 閥體、板 | AlSI 304 (1.4301) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FKM（Viton®）或根據(jù)要求 |
閥門 | FKM（Viton®）或根據(jù)要求 | |
安裝位置 | 任意 | |
電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（其他應要求） | |
位置指示器：觸點額定 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | D-Sub 9P Male | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 4 mm |
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