目錄:北京中科科儀光電科技有限公司>>掃描電子顯微鏡>>鎢燈絲低真空掃描電鏡>> KYKY-EM6920Z低真空掃描電子顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,能源,電子/電池,公安/司法 |
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一、產(chǎn)品特點
1、低真空功能，更適合不導(dǎo)電樣品觀測
2、標(biāo)配超大樣品倉
3、軟件功能豐富
4、支持定制化
二、KYKY-EM6920Z 技術(shù)參數(shù)
分辨率 | SE：3nm@30kV,8nm@3kV;BSE：4nm@30kV |
放大倍數(shù) | 1x-1000000x |
低真空功能 | 真空度 10-1000Pa |
加速電壓 | 0.2kV～30kV |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲，六硼化鑭燈絲（選配） |
真空系統(tǒng) | 分子泵+機械泵 |
樣品臺 | 五軸自動樣品臺 X=150mm,Y=150mm,Z=65mm， T=-10°～ +90°，R=360° 最大樣品直徑 : Ф320mm 最大樣品高度：90mm |
探測器配置 | 二次電子探測器 半導(dǎo)體背散射探測器※ 紅外 CCD 低真空二次電子探測器 ※ |
三、可選配附件
EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock過渡倉 / 加熱臺 / 冷臺 / 拉伸臺等
四、軟件處理功能
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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