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氣密性測(cè)試儀的基本原理

2025-3-21  閱讀(147)

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差壓法(變壓法、加壓法)


這是一種通過(guò)對(duì)要檢查的物體(工件)施加氣壓,然后測(cè)量?jī)?nèi)部壓力變化來(lái)確定泄漏的方法。 準(zhǔn)備無(wú)泄漏的參考產(chǎn)品(母版),同時(shí)對(duì)工件和母版加壓。 高靈敏度差壓傳感器將泄漏引起的工件壓力變化檢測(cè)為母模中的壓力與母模中的壓力之差。


如果有少量泄漏


如果有大泄漏


氣密性測(cè)試儀(智能 2 回路)的作



CHGBAL1BAL2DET
AV1(SV2)



AV2(SV3)



AV3(SV4)



  • AV1:加壓閥

  • AV2:等壓閥

  • AV3:排氣閥

  • DPS: 差壓傳感器

  • PS:測(cè)試壓力傳感器


    • CHG 工藝(加壓)

    • 關(guān)閉排氣閥 (AV3),打開(kāi)增壓閥 (AV1),并將測(cè)試壓力封閉到回路中。


    • BAL1 工藝(同量異位)

    • 關(guān)閉增壓閥 (AV1) 并通過(guò)主站和工件之間的連續(xù)性來(lái)穩(wěn)定它。


    • BAL2 過(guò)程 (平衡)

    • 關(guān)閉等壓閥 (AV2) 并在關(guān)閉主件和工件之間的距離的情況下將其穩(wěn)定。 在此過(guò)程中檢測(cè)到大量泄漏。


    • DET 進(jìn)程(檢測(cè))

    • 采用電氣自動(dòng)歸零來(lái)檢測(cè)小泄漏。 這就是漂移校正功能發(fā)揮作用的地方。



由于泄漏導(dǎo)致工件內(nèi)部壓力的變化


在平衡和檢測(cè)過(guò)程中,在自動(dòng)歸零作后每 0.1 秒計(jì)算一次泄漏引起的壓差 ΔP,并以泄漏量(泄漏率 mL/min 等)為單位顯示。
如果泄漏量的顯示在檢測(cè)過(guò)程中沒(méi)有變化并且變得恒定,則不需要進(jìn)一步的檢測(cè)時(shí)間。


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