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高斯摩(成都)國際貿易有限公司
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- 汪雅琪
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產品簡介
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
靈活的安裝姿勢、緊湊的尺寸、節(jié)能、快速啟動、可快速停止排氣、能夠進入大氣層、可以進行串行通信
產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
* 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
[ 工作環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度為 10~23°C。 允許環(huán)境溫度為風冷 10~32°C，水冷 10~40°C。 極限壓力保證：冷卻水溫度不大于30°C，允許冷卻水溫度為10~35°C。
[ 支持的氣體類型 ]
根據(jù)吸入氣體的類型，它可能會使軸承潤滑脂和內部組件變質。 請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
| 型 | TG1100F | TG1100F*A*-60/TG1100F*寬* | |
| 進氣法蘭 | VG200/ISO-B200/CF200 | ||
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1100 | |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 1000 | ||
| H2 （升/秒） | 720 | ||
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 極限壓力 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| 最大氣體流速※1※2 | （SCCM） | 330 | 860 |
| 啟動時間※2 | （分鐘） | 7-9 | 5.5-7 |
| 停機時間※2 | （分鐘） | 27-32 | 12-15 |
| 允許的輔助壓力 | （帕/托爾） | 330/2.5 | |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧250 | |
| 安裝姿勢 | 自由 | ||
| 質量 | VG/ISO-B/CF（千克） | 28/27 | |
| 控制器類型 | TC1104 系列 | TC1103 系列※3 | |
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