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MODEL ST-550KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價: | ￥ 8520 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MODEL ST-550 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：16更新時間：2025-05-21 09:01:52
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
采用隔膜式的全金屬密封MFC，經(jīng)過EP處理以及氧化覆膜處理，可以對應(yīng)腐蝕性流體。
可選通訊：RS485,DeviceNet®,EtherCAT®
IGS W型密封圈接頭
使用S. P. 精度高精度計測、全流量控制范圍響應(yīng)性1sec以內(nèi)
可使用專用軟件進(jìn)行量程切換(３０～１１０％F.S.)
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳感器類型 | 熱式繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 閥門 | 比例電磁閥（斷電時關(guān)閉） | ||
| 流量量程(N?換算) | 10SCCM～10SLM | 30SLM | |
| 控制范圍 | 2～100%F.S. | ||
| 響應(yīng)性 | 1sec以內(nèi) | ||
| 精度 | ±1%S.P.(10～100%F.S.) ±0.1%F.S.(2～10%F.S.) | ||
| 重現(xiàn)性 | ±0.2%F.S | ||
| 動作壓差 | 50～300kPa | 200～300kPa | |
| 入口最大壓力 | 300kPa(G) | ||
| 耐壓 | 1MPa(G) | ||
| He泄漏率 | 1×10-11Pa?m3/sec以下 | ||
| 允許環(huán)境溫度 | 5～50℃ | ||
| 精度保證溫度 | 15～40℃ | ||
| 允許保存溫度 | 0～60℃ | ||
| 允許環(huán)境溫度 | 0～80%RH(未出現(xiàn)冷凝) | ||
| 接觸氣體部位材質(zhì) | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni | ||
| 通訊接口(只限RS485) | D-sub9pin、RJ45×2 | ||
| 流量設(shè)定信號(只限RS485) | 0～5VDC（輸入阻抗約1MΩ） or 4～20mA（輸入阻抗約約250Ω） | ||
| 流量出力信號(只限RS485) | 0～5VDC(負(fù)載電阻10kΩ以上) or 4～20mA(負(fù)載電阻500Ω以下) | ||
| 數(shù)字通信 | RS485/DeviceNet®/EtherCAT® | ||
| 電源 | 11～25VDC(5VA max) | ||
| 接頭?平面尺寸 | 1.125"W型92mm 1/4"VCR相當(dāng) | ||
| 重量 | 約1,000g | ||
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