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3200KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
| 參考價(jià): | ￥ 8200 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 3200 產(chǎn)品型號(hào)
- KOFLOC/科賦樂(lè) 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：15更新時(shí)間：2025-05-21 09:07:46
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂(lè)是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計(jì)（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長(zhǎng)壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗(yàn)證。
它是一種適用于新Cofflock標(biāo)準(zhǔn)的高性能型號(hào)。
配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)采用常閉閥門，方向操作安全采用隔膜閥，減少死體積
F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項(xiàng)）
低壓差兼容燃?xì)饪刂疲↙P選項(xiàng)）
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無(wú)需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 閥門方法 | 比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應(yīng)速度 | 1秒內(nèi)（±2％FS內(nèi)） | |
| 準(zhǔn)確性 | ±1％FS（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | |
| 操作壓差范圍 | F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G） | ||
| 選項(xiàng)：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 | ||
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無(wú)結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜SUS316 | ||
| 閥座PTFE | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 流量設(shè)定 輸入信號(hào) | 0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上） | |
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | |
| 重量 | 約1000g | |
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