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EX-700KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價: | ￥ 8000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- EX-700 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：12更新時間：2025-05-21 09:10:33
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
EXE-FLOWTM以Exact“正確的流量測量"優(yōu)秀我們已經(jīng)將“優(yōu)秀功能"概念商業(yè)化。
有11種標(biāo)準(zhǔn)庫存，涵蓋從小流量（F.S.10 sccm）到大流量（F. S. 200 slm）。
配備新型高性能傳感器的低成本型號
體積小，重量輕，單電源DC24V驅(qū)動
配備RS-485通訊功能標(biāo)準(zhǔn)
符合RoHS,CE標(biāo)準(zhǔn)
集成指示燈操作簡單
•瞬時•累積流量顯示 •氣體類型轉(zhuǎn)換 •CF任意設(shè)置
•上下限報警設(shè)置 •流量單位變更 •低頻截止設(shè)置
•局號設(shè)置 •通訊傳輸速度變更 etc
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范圍（N2） | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM | |
| 可指定氣體（* 1） | N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等/通過CF轉(zhuǎn)換切換） | N2（空氣切換，Ar / CF轉(zhuǎn)換） | |
| 響應(yīng) | 2秒以內(nèi) | ||
| 精度（* 2） | ±1.0%F.S. (25℃) | ±1.5％FS（25°C） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.2%F.S./℃ (15～35℃) ※200SLMのみ±0.4%F.S./℃ | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | ||
| 耐壓 | 980ｋPa(G) | ||
| 允許周圍溫度 | 5～50℃ | ||
| 允許保管溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，PTFE，F(xiàn)KM（可選NBR，CRP） | ||
| 電氣連接 | DC插孔或Dsub 9針公頭 | ||
| 數(shù)字通信 | RS 485（MODBUS協(xié)議，RTU模式）ID：1-247 | ||
| 所需電源（DC） | 24VDC(±10%) 100mA以下 | ||
| 接頭 | 1/4F900（標(biāo)準(zhǔn)） | 3/8F900（標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 控制針（可選） | MODEL2412 | MODEL2412D | |
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 輸出 | 輸出方式 | NPN開集 2點（最大額定值：DC30V 50ｍA） | |
| 輸出數(shù)量 | 2點（每個輸出可以選擇并設(shè)置為瞬時流量上限，下限，上限/下限或積分到達，積分脈沖也可以在1點選擇。）輸出反轉(zhuǎn)是可能的 | ||
| 活動展示 | LED燈（OUT1，OUT2）亮起 | ||
| 模擬輸出（* 4） | ①4～20mA (500Ω以下) ②0～5V (10kΩ以上)?、?～5V (10kΩ以上) | ||
| 重量 | 約600g （不含接頭） | 約700g （不含接頭） | |
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