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產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商,成立于1958年,專注于質量流量計(MFM)、質量流量控制器(MFC)和精密閥門的研發(fā)生產,產品以高精度、低壓損、長壽命著稱,廣泛應用于半導體、光伏、醫(yī)療和化工等領域。
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
3810 S系列是一種低成本的質量流量傳感器,它誕生于優(yōu)良的旁路毛細管型質量流量傳感器的基本結構,并在設備集成的前提下進行了合理化。
這是Kofflock的暢銷產品,已被許多設備制造商采用,作為傳統浮子式(錐管)流量計的替代品。
具有恒定電流溫差檢測方法和旁路毛細管方法的成熟低成本流量傳感器。
實現浮動流量計0?5VDC模擬流量輸出允許各種應用,如測量記錄,控制和報警質量流量(質量流量),因此無需通過復雜的溫度和壓力來計算流量校正
技術優(yōu)勢
熱式技術(氣體):
基于熱擴散原理,直接測量氣體質量流量(無需溫壓補償)。
低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導體工藝氣體控制)。
壓差式技術(液體):
通過層流元件產生壓差,線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計:接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能:
數字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自診斷報警(流量超限、傳感器異常)。
典型應用場景
半導體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量穩(wěn)定性±0.5%,響應時間<1秒。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認證(Ex d IIC T6)。
光伏產業(yè)
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰(zhàn):硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風險。
方案:全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
流量范圍 (N2轉換20°C / 1 ATM) | 10SCCM~2SLM(可選) | 3SLM~50SLM(可選) |
---|---|---|
傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
準確性 | ±3%F.S.(25°C) | ±5%F.S.(25°C) |
溫度系數 | ±0.15%F.S. /°C(15~35°C) | ±0.2%F.S. /°C(15~35°C) |
再現性 | ±0.5%F.S. | |
耐壓 | 980kPa(G) | |
允許周圍溫度 | 5~45℃ | |
允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH(無結露) | |
氣體接觸材料 | 主體SUS303,PTFE | |
密封材料FKM(選件CR或NBR) | ||
電氣連接 | 171826-5(由AMP制造) | |
流量輸出信號 | 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上) | |
所需電源 | ±15 VDC±5% 60 mA | |
配件(車身尺寸) | Rc1 / 4 | |
重量 | 約250g | 約350g |