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5410KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
| 參考價(jià): | ￥ 7520 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 5410 產(chǎn)品型號(hào)
- KOFLOC/科賦樂(lè) 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：16更新時(shí)間：2025-05-21 09:31:58
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂(lè)是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計(jì)（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長(zhǎng)壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
5410型是一種質(zhì)量流量計(jì)，具有進(jìn)一步改進(jìn)的基本性能。
雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅(qū)動(dòng)方法已得到改進(jìn)，以減少零漂移。
它是一種通過(guò)金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。
提高每個(gè)流量范圍的精度
適用于微流量（選項(xiàng)規(guī)格）
由于無(wú)焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
價(jià)格便宜
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無(wú)需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 準(zhǔn)確性 | ±1％F.S.（20°C） | |
| 溫度系數(shù) | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S.（20°C）內(nèi) | |
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C） | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無(wú)結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜Ni.Co | ||
| 閥座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L，Ni | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 流量設(shè)定 輸入信號(hào) | 0~5 VDC（最小負(fù)載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效 | |
| 重量 | 約800g | |
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