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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 液體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
不受供應側壓力波動影響的一次壓力波動型氣體流量控制器
產品介紹
KOFLOC科賦樂 氣體流量控制器
KOFLOC科賦樂 氣體流量控制器
流量控制器2204在二次側（出口側）壓力恒定的情況下，即使一次側壓力（入口側）波動，也可以控制穩(wěn)定的恒定流量。
通過內置的精密針閥，可以以極微流量來精確地設定流量。
穩(wěn)定的流量控制特性
由高精度部件組成的非旋轉針閥可以平穩(wěn)調節(jié)非常微小的流量。
不受供應側壓力波動的影響
在二次側（出口側）壓力恒定的條件下，即使一次側（供給側）上壓力波動，也可保持恒定的流速。
清潔性
高精度零件清潔后組裝完成，因此請放心使用。
對于要求清潔性的高靈敏度分析儀，建議使用不銹鋼制品 。
用途
用于理化設備
用于泵后段控制
適用于各種分析儀器
適用于各種環(huán)境測量儀器
技術優(yōu)勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封
| 額定流量 | 氣體 10ML/MIN～10L/MIN |
|---|---|
| 控制精度 | 一次壓力（輸入壓力）0.07Mpa～0.8MPa之間, 在0.3 MPa的變化范圍內，流量波動值±2％以內 |
| 調整螺桿轉數(shù) | 旋轉大約12圈 |
| 最大工作壓力 | 0.8MPa |
| 最高工作溫度 | 60℃ |
| 流體接觸部分材質 | （A）A?、黃銅、POM、NBR （SS）SUS316、氟碳樹脂、氟碳橡膠 |
| 連接端口 | Rc1/8（M8+Rc1/8） |
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