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日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。此外，在所有工藝中實施最佳的溫度控制，從而實現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應對的應用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長等。
產(chǎn)品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達底壓時消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
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