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EMT397MEBARA荏原 渦輪分子泵
| 參考價(jià): | ￥ 9770 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- EMT397M 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠(chǎng)商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)：121更新時(shí)間：2025-03-21 16:13:07
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
渦輪分子泵是一種高真空泵，利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子從進(jìn)氣口推向排氣口，從而實(shí)現(xiàn)高真空的獲取。
產(chǎn)品介紹
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT397M
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT397M
渦輪分子泵是一種高真空泵，利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子從進(jìn)氣口推向排氣口，從而實(shí)現(xiàn)高真空的獲取。它由德國(guó)物理學(xué)家貝克（W. Becker）于1958年發(fā)明，是現(xiàn)代高真空和超高真空技術(shù)中的核心設(shè)備之一。渦輪分子泵通常與前置泵（如干式泵或旋片泵）結(jié)合使用，以在寬壓力范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效抽氣。
特點(diǎn)
高轉(zhuǎn)速：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速通常高達(dá)每分鐘數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)，甚至超過(guò)10萬(wàn)轉(zhuǎn)，以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。
無(wú)油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運(yùn)行過(guò)程中無(wú)需油液潤(rùn)滑，避免了油蒸氣對(duì)真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應(yīng)用。
寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內(nèi)高效工作，與前置泵配合可實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的抽氣。
高抽氣速度：渦輪分子泵對(duì)輕質(zhì)氣體（如氫氣、氦氣）和中質(zhì)氣體（如氮?dú)?、氧氣）具有較高的抽氣速度，能夠快速建立并維持高真空環(huán)境。
結(jié)構(gòu)精密：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片采用精密加工技術(shù)，確保高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的穩(wěn)定性和可靠性。
低振動(dòng)和低噪音：現(xiàn)代渦輪分子泵采用先進(jìn)的動(dòng)平衡技術(shù)和減振設(shè)計(jì)，運(yùn)行時(shí)振動(dòng)和噪音極低
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。
科學(xué)研究：在粒子加速器、核聚變實(shí)驗(yàn)、表面物理和材料科學(xué)等領(lǐng)域，渦輪分子泵用于實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境。
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