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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。 電離分子被電場加速并與固體目標表面碰撞。
產品介紹
ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 真空 PST-400CXII
ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 真空 PST-400CXII
濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。 電離分子被電場加速并與固體目標表面碰撞。 這種碰撞導致分子嵌入表面并產生真空。 該工藝對于去除惰性和反應性氣體特別有效。
濺射離子泵是精密實驗和制造工藝的理想選擇，因為它們可以實現(xiàn) 10^-11 Torr 或更低的超高真空，并且沒有機械運動部件，因此使用壽命長，維護成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環(huán)境。 此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優(yōu)點。
該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來增強超高真空范圍內的排氣特性。
通過優(yōu)化新元件和磁場，改善了超高真空范圍內的排氣特性。
長處
兼容超高真空。 10 帶 ISO 標準測試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。
惰性氣體強化排氣型（AU 型）實現(xiàn)了氬氣排氣性能的兩倍。 （與我們公司相比）
在超高真空范圍內實現(xiàn)大抽速。
可以在短時間內排氣到超高真空范圍。
在超高真空范圍內具有出色的啟動特性。 （放電可承受至超高真空）
用
粒子加速器
電子顯微鏡
電子束光刻設備
抗振分析儀
使用超高真空環(huán)境等
| 型 | PST-110AU 型 | PST-200CXII 系列 | PST-200AXII 系列 | PST-400CXII 系列 | PST-400AXII | |
| 廢氣目標氣體 | 活性氣體 | 活性氣體 | 稀有氣體 | 活性氣體 | 稀有氣體 | |
| 再生抽速* | 0.11 米3/s N2 測量氣體時 | 0.2 米3/s N2 測量氣體時 | 0.02 米3/s 測量 Ar 時 | 0.36 米3/s N2 測量氣體時 | 0.19 米3/s 測量 Ar 時 | |
| 極限壓力 | 10-9帕 | 10-10帕 | ||||
| 工作壓力 | 建議的值 | <4.5x10-3帕 | <3.8x10-3帕 | <3.0x10-3帕 | ||
| 內部卷 | 6.5 倍 10-3m3 | 11 倍 10-3m3 | 14x10-3m3 | |||
| 泵元件數(shù)量 | AU 型電池 x2 | 2 個 CX 型電池× | 2 個 AX 型電池× | CX 型單元格 × 4 個公式 | 4 個 AX 型電池× | |
| 連接法蘭類型 | UFC152的 | UFC203 | ||||
| 施加電壓 | 直流+7.5kV | |||||
| 加熱加熱器 | 無設置 | 單相 AC200V，600W | 單相 AC200V，800W | |||
| 標準烘烤溫度 | 250°C | |||||
| 質量 | 36.5 千克 | 65 公斤 | 124 公斤 | |||
| 尺寸 W×D×H | 171×387×293毫米 | 296×361×376毫米 | 296×544×376毫米 | |||
| 使用環(huán)境 | 溫度范圍 | 5~40°C | ||||
| 濕度范圍 | 85% 或更低（無冷凝） | |||||
| 泵固定螺栓孔尺寸 | 4 位 - M6 深度 15mm | 4 位 - M8 厚度 15 毫米 | 6 位 - M8 深度 15 毫米 | |||
| 推薦的控制器 | 商品及服務稅 （GST-07L-B） | |||||
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