ULVAC愛發(fā)科

渦旋式干式真空泵

什么是渦旋式干式真空泵？

兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移，使得它們的壁彼此呈線接觸，并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進(jìn)行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心，并從中心的孔中排出。

渦旋式干式真空泵的特點

　從吸入口引入的氣體通過與固定渦旋盤重疊的動渦旋盤，從渦旋盤外部向內(nèi)部被壓縮。壓縮過程通常設(shè)計為兩次或多次進(jìn)行，從而降低振動和噪音水平。極限壓力可達(dá)1Pa。

【優(yōu)點】比羅茨真空泵體積更小、價格更便宜。

【缺點】渦旋前端的密封圈磨損。

渦旋式干式真空泵的工作原理

　兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移，使得它們的壁彼此呈線接觸，并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進(jìn)行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心，并從中心的孔中排出。

渦旋式干式真空泵的主要應(yīng)用

　真空干燥設(shè)備、理化分析設(shè)備、真空吸附輸送設(shè)備、真空熱處理爐等。

應(yīng)用行業(yè)：

?半導(dǎo)體制造、食品行業(yè)、藥品行業(yè)、化妝品行業(yè)、?太陽能光伏行業(yè)、

?半導(dǎo)體：用于晶圓加工、刻蝕、薄膜沉積等環(huán)節(jié)，化學(xué)氣相沉積（CVD）過程。

渦旋干泵可以實現(xiàn)真空輸送，適用于粉末、顆粒等物料的輸送。

?真空干燥與包裝?：在食品、藥品、化妝品等行業(yè)的真空冷凍干燥過程中，渦旋干泵可以有效脫水，保持產(chǎn)品形狀和質(zhì)量；同時，它還用于食品、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域的真空包裝過程，延長產(chǎn)品保質(zhì)期。

?太陽能光伏?：在太陽能光伏行業(yè)中，渦旋干泵用于真空封裝、真空燒結(jié)等工藝，提高光伏電池的效率和穩(wěn)定性。?

?食品行業(yè)?：在食品加工中，渦旋式干式真空泵用于食品的干燥、脫水和包裝等環(huán)節(jié)。

?制藥行業(yè)?：在藥品生產(chǎn)中，渦旋式干式真空泵用于原料藥的干燥、結(jié)晶和分離等過程。

?化工行業(yè)?：在化工生產(chǎn)中，渦旋式干式真空泵用于聚合反應(yīng)、蒸餾、干燥等工藝。在聚合反應(yīng)中，該泵可以排除反應(yīng)體系中的空氣和水分，防止反應(yīng)受到干擾?。

?科研領(lǐng)域：真空鍍膜、材料科學(xué)研究中的高真空熱處理等。低溫物理實驗、高真空環(huán)境下的化學(xué)反應(yīng)等。

環(huán)保工程：渦旋式干式真空泵用于廢氣處理和真空吸附過程，去除有害氣體和污染物。