BR-2T 本溪市2噸工業(yè)半導(dǎo)體超純水設(shè)備
| 參考價 | ￥ 180000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 上海濱潤環(huán)?？萍加邢薰?/a>
- 品牌 濱潤
- 型號 BR-2T
- 產(chǎn)地 上海浦東新區(qū)新欣東路27號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/17 16:59:03
- 訪問次數(shù) 17
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 |
|---|
本溪市2噸工業(yè)半導(dǎo)體超純水設(shè)備方案
一、核心工藝設(shè)計
預(yù)處理系統(tǒng)
多介質(zhì)過濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹等雜質(zhì)（精度≥5μm）。
活性炭過濾器：吸附余氯、有機物，防止RO膜氧化。
軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO結(jié)垢（原水硬度較高時必選）。
反滲透（RO）系統(tǒng)
高壓泵：316L不銹鋼材質(zhì)，提供RO膜運行壓力（1.0-1.5MPa）。
RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類膜，脫鹽率≥99%，產(chǎn)水2噸/小時。
回收率：60-75%（根據(jù)原水TDS調(diào)整）。
后處理精制單元
電去離子（EDI）裝置：連續(xù)去除殘余離子，出水電阻率≥15MΩ·cm。
拋光混床：核級混床樹脂，進(jìn)一步降低電導(dǎo)率至≥18.2MΩ·cm。
紫外線殺菌器：254nm波長，滅殺微生物，防止儲水箱二次污染。
TOC去除裝置（可選）：UV氧化或活性炭吸附，控制總有機碳＜5ppb。
儲存與分配系統(tǒng)
PVDF/316L不銹鋼儲水箱：帶氮氣保護(hù)或循環(huán)系統(tǒng)，避免CO?吸收。
超純水分配管道：316L不銹鋼+UF過濾器，多點監(jiān)測電阻率（＞18.2MΩ·cm）。
二、設(shè)備技術(shù)參數(shù)
| 組件 | 規(guī)格與要求 |
|---|---|
| RO膜組 | 4-6支8英寸陶氏膜，排列方式：一級一段 |
| EDI模塊 | 2-4組，電流可調(diào)，自動再生 |
| 拋光混床 | 核級樹脂，填充量≥50L，可重復(fù)再生＜10次 |
| TOC控制 | UV氧化（254nm）+ TOC在線監(jiān)測（檢測限＜5ppb） |
| 控制系統(tǒng) | PLC全自動+觸摸屏，實時監(jiān)測電導(dǎo)率、TOC、溫度、壓力，支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與遠(yuǎn)程監(jiān)控 |
| 材質(zhì)與合規(guī)性 | PVDF/316L不銹鋼管道，符合SEMI F57、ISO 9001、ASME BPE標(biāo)準(zhǔn) |
三、出水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
電阻率：≥18.2MΩ·cm（25°C）
顆粒物：＜10ppt（＞0.2μm）
微生物：＜1CFU/mL（UV+EDI抑制生物膜）
金屬離子：Na?＜10ppb，F(xiàn)e?3＜1ppb，Cu2?＜0.1ppb
TOC：＜5ppb（可選＜10ppb）
四、設(shè)備成本與運行費用
初期投資：
基礎(chǔ)版（RO+EDI+拋光混床）：約30-40萬元（含自動控系統(tǒng)）14。
高配版（含TOC控制+氮氣保護(hù)）：約45-60萬元5。
運行成本：
RO膜：3-5年更換，約5-8萬元/套；
EDI模塊：5-8年更換，約10-15萬元/套；
拋光樹脂：1-2年更換，約2-5萬元/次。
能耗：約2-3元/噸（電費+泵耗）14。
耗材：
總成本：約5-8元/噸（含折舊）14。
五、合規(guī)與認(rèn)證
遵循標(biāo)準(zhǔn)：
國際：SEMI F57（半導(dǎo)體超純水標(biāo)準(zhǔn)）、ASTM D5127（TOC檢測）5；
中國：電子級超純水國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1）。
驗證文件：
DQ（設(shè)計確認(rèn)）、IQ（安裝確認(rèn)）、OQ（運行確認(rèn)）、PQ（性能確認(rèn)）
本溪市2噸工業(yè)半導(dǎo)體超純水設(shè)備需結(jié)合RO+EDI+拋光混床+UV工藝，選用PVDF/316L材質(zhì)，配套全自動控制系統(tǒng)，確保水質(zhì)符合SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)。
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