目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實驗設(shè)備>>傳感器>> 納米級電容位移傳感器
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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超靈敏，納米級電容位移傳感器！
原理是利用力學(xué)變化使電容器中其中的一個參數(shù)發(fā)生變化的方法實現(xiàn)信號的變化的。電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時，電容器的電容量就會發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁y出兩個傳感板距離的變化。
納米級電容位移傳感器是非接觸式位置測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)由目標(biāo)和探針兩個傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時，電容器的電容量就會發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁y出兩個傳感板距離的變化。電容位移傳感器擁有高靈敏度分辨率可由于0.1nm，頻帶寬可達(dá)到10KHz，直線性可到達(dá)0.02%。由于傳感器是一種非接觸式的精密測量系統(tǒng)，因此還擁有無摩擦，無遲滯等特點(diǎn)。
電容位移傳感器因具有結(jié)構(gòu)簡單、功耗低、精度高、動態(tài)性能好、頻帶寬、高穩(wěn)定性和非接觸測量等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電容位移傳感器主要包括以下幾款產(chǎn)品：
① AU-NX系列電容位移傳感器是基于電容測微原理的非接觸式的位移測量系統(tǒng)。該電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個傳感板組成電容器。利用合適的控制器可測量兩個電容板之間的距離，在1.25mm的行程中，分辨率可高達(dá)7pm。此外該位移傳感器具有很高的頻帶寬，可達(dá)到10KHz，線性度可達(dá)到0.02%。由于該電容位移傳感器為非接觸式精密測量系統(tǒng)，因此具有零遲滯、低功耗等優(yōu)點(diǎn)。此外該系列的位移傳感器可有鋁合金和不脹鋼兩種材質(zhì)。
②AU-NZ系列位移傳感器的工作原理與AU-NZ系列的相同。它們的主要區(qū)別在工藝和材質(zhì)上不同。AU-NZ電容位移傳感器采用微晶陶瓷和張脹鋼材質(zhì)，并且沒有粘合劑。這使其擁有熱穩(wěn)定性，適合低溫使用。
③大量程電容位移傳感器，主要包括AU-NCG-1-AL-UHV，該高分辨率位移傳感器為嚴(yán)苛環(huán)境條件下設(shè)計，工作溫度范圍可以從-200℃到+150℃。采用鍍金陶瓷電容板，行程可達(dá)到11000微米，且分辨率可達(dá)到0.12微米。在極大的行程中仍然可以保持較好測直線性，線性度可達(dá)到0.4%。
主要特點(diǎn)
大行程（11mm）
高分辨率（0.1nm）
高熱穩(wěn)定性
高直線性（0.02%）
零遲滯
高頻帶寬度（10KHz）
低功耗
操作溫度范圍大（-200~+150℃）
主要應(yīng)用
精密制造、計量、形變測量、平臺控制、材料測試、顯微鏡、能動光學(xué)、精密光束控制等。
主要參數(shù)
型號 參數(shù) | AU-NX | AU-NZ | ||||||
AU-NXB | AU-NXC | AU-NXD | AU-NZB | AU-NZC | AU-NZD | |||
Active area（mm2） | 22.5 | 113 | 282 | 22.5 | 113 | 282 | ||
Material | Aluminium / Super Invar | Zerodur / Super Inva | ||||||
Thermal drift (nmK-1) | Aluminium 230 Super Invar 3 | 1.5 | ||||||
Short range-S(10pF) | Range | 20mm | 100mm | 250mm | 20mm | 100mm | 250mm | |
Noise | <0.001 | <0.005 | <0.013 | <0.001 | <0.005 | <0.013 | ||
Linearity error(%) | <0.08 | <0.05 | <0.06 | <0.08 | <0.05 | <0.06 | ||
Long range –L (2pF) | Range(mm) | 100 | 500 | 1250 | 100 | 500 | 1250 | |
Noise | <0.015 | <0.075 | <0.188 | <0.015 | <0.075 | <0.188 | ||
Linearity error(%) | <0.08 | <0.03 | <0.06 | <0.08 | <0.03 | <0.06 | ||
Operating temperature | Controller | +10 to +50 ℃ | +10 to +50 ℃ | |||||
Sensor | -273 to +100 ℃ | -273 to +100 ℃ | ||||||
型號 參數(shù) | AU-NCG-1-AL- UHV | |||||||
Materials | Aluminium housing with gold plated alumina (ceramic) sensors | |||||||
Sensor range | 11mm | |||||||
Position noise (rms) | 120nm | |||||||
Uncompensated linearity | 0.4% | |||||||
Probe area | 2500mm2 | |||||||
Operating temperature | -200 to +150 ℃ | |||||||
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